第二百七十五章 检验(2/4)

赵院长却没有多做计较,只是在光刻机前前后后的打着转,就不信自己的眼力还看不出来有什么不同。

其实虽然麻友公这多少算是叛出师门,但赵院长心底里却并不怎么怨他的。一是光电所这些年来,确实有些对不起麻友公。二一个。心里多少也希望自己的徒弟能有一个好的归宿吧。

从这方面来说,他其实也理解麻友公保密的做法。假使改进技术真的有效,这里面涉及到的可是数以亿计的金钱。泛翰研究院是私人公司,当然不可能让人敞开了看。

就在这时。光刻机前的指示灯突然从红色转换成了绿色,并且发出了一道短促的“哔——”声。

一张200mm直径的晶圆盘片,从光刻机里被机械臂稳稳的送了出来。

“这是!”赵院长哪里会不知道这是怎么回事。光刻机里吐出来的晶圆表面上看并没有什么不同,但他知道这已经是经过了光刻的盘片。

此时这张盘片上面的光刻胶。应该已经被蒸发了一部分。只要再把这张盘片送入蚀刻机,就可以根据光刻的路径蚀刻出集成电路。

在场的所有人。除了保安部的安保人员以外,几乎个个都和光刻机系统扯得上关系。自然也就都明白,泛翰研究院是否已经掌握了0.5微米工艺,答案就在这一刻了。

“诸位,我们泛翰研究院究竟有没有掌握0.5微米工艺技术,大家此时此刻可以拭目以待了!这张单晶硅晶圆是我们改造之后的第一次光刻,我请你们记住1995年10月7日这个光荣的日子……”

周硕几乎是虔诚的,把晶圆从光刻机转移到蚀刻机上面,并且毫不迟疑的启动了蚀刻程序。

只是此时此刻,似乎所有人都已经忘记了他们的初衷。只是全神贯注的看着那薄薄的单晶硅晶圆,心中却已经有些相信泛翰研究院已经实现了0.5微米工艺。

问题很简单,若非是有十足把握,周硕又怎么有这个勇气,在众人面前完成蚀刻程序?甚至有的人心里已经打起了小算盘,按照国内的传统,说不定是已经有了成功经验之后,才玩的这个出炉把戏吧。

不管如何,周硕胸有成竹的模样,都让他们的态度在不自觉间发生了变化。

和光刻程序比起来,蚀刻的速度就快多了。几分钟之后,酸液已经把没有光刻胶覆盖的地方,腐蚀出了只有零点零几微米的微痕。微小到不论是人的肉眼、或者是普通的放大镜都无法发觉的地步。

当然,以蜂巢实验室里面的设备,有大把
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