第三百九十六章 投影曝光(2/4)
傲的,而且也非常有骄傲的资本。整个九十年代,世界十大晶圆厂,日本人占了半数还多!
在鹤田和所有日本人看来,中国人能拿出沉浸式光刻技术纯粹就是瞎猫碰死耗子,反正搞举国体制不正是共产国际的强项嘛!
除了沉浸式光刻技术这种独辟蹊径的取巧之道,日本人绝不相信泛翰集团还能在其他方向产生突破,他们手里的底牌也就是仅此而已。
然而事实证明。中国人比他们想象的要强大的多。这对鹤田来说,不啻是一个巨大的嘲讽。
以技术先进为傲的尼康,竟然会屡屡失败在一个小小的中国企业面前!这tm的不科啊!
鹤田的脸色随着他看完整个授权专利证书之后,就黑的好像一块锅底的黑炭了。任谁在看到自家花费巨资研发出来的技术。转眼就被人给淘汰掉了,心里肯定都会恨不得把对方给咬死。
可惜,鹤田注定是不敢咬死人的。
步进投影技术不仅能摆脱对防水光刻胶的依赖。更重要的是只要稍作优化,立刻就又能把光刻机制程技术向前推进一个时代……
你们要不要这么逆天?!
鹤田很想这么呐喊一声。如果让泛翰集团这么肆无忌惮的发展下去,说不定连摩尔定律都要被打破了。
从0.35微米工艺都没普及的程度。直接跳到0.18微米,可以想象这会在市场上掀起怎样的腥血雨。
鹤田牙缝里再敢蹦个“不”字,尼康就要被管杀不管埋了。
“周桑……这个件是真的?”鹤田张了张嘴,脑袋里一团乱麻,只能问出这么没有营养的问题了。
他对重复投影式曝光技术并不陌生,如果说沉浸式光刻技术是左道旁门,那投影式曝光就是名门正道!光刻机提升性能的主要方法,大多都是通过增加光系统精度实现的——而重复投影曝光技术,可以说是将这种思路延续到了极致!
“呵呵,是不是真的,尼康可以自己求证一下。”周硕无所谓的耸了耸肩,轻松的笑道。
鹤田背靠在椅子上,心知这种事情是不可能作假的。只要他一个电话过去,用不了半个小时查询结果就能出来,耍这种花招毫无意义。
即使如此,他仍然吩咐手下让人去查询相关的专利情况。一纸证书能够体现的东西有限,专利注册的时候需要提供很多技术思路,说不定也会有所收获。不过那都是以后的事情了,现在周硕表现的来的实力,却不允许他再肆无忌惮的打压下去。
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