第二百九十四章 截胡(1/4)
“北大路先生,你看我们的激光技术怎么样?这套准分子激光设备,是我们泛翰研究院自行研制的,能够生成193nm波长的紫外激光。”赵大健陪着笑,将日本检查团领进了实验室。
一七三所前研究员江清月,正是在这个实验室里,进行着自己的工作。所谓准分子激光,并非是对激光本身属性进行的描述,而是特指的发出激光物质为准分子。
准分子激光一般是由氙气二聚体等惰性气体或卤素气体,受到电子束激发形成的激光。光子能量波长范围在157-353nm之间,由于激光是在气体受到外来能量的激发,所引起的一系列物理及化学反应中,曾经形成但转瞬即逝的分子发出的,所以被称之为准分子激光。
这种激光的一个特点是寿命极短,只有几十毫微秒的时间。超过这个时间,发出激光的分子,就会迅速还原成原本的气体状态。其中193nm波长的激光,就是用来作为治疗近视等眼部疾病使用的激光刀。同时,193nm的激光也是后世光刻机普遍使用的波长。
江清月在众人进入的时候,正操作着一台氟氩气体激发的准分子激光器,测试将激光光源进行多次聚焦之后再恢复成平行状态。
城三太郎几乎是看到的第一眼,心里就大喊了一声“八嘎雅路!”。从几组透镜的布置来看,泛翰集团显然已经是在研究0.35微米工艺的光刻机了!光刻机的加工精度不同。使用的透镜数量、种类和布置都有非常多的讲究。
作为尼康光刻机项目的参与者,城三太郎对当前最先进的0.35微米工艺光刻机。透镜的布置当然是了若指掌。他百分之百的肯定,泛翰集团目前已经摸到了这项技术的门路,实现技术突破恐怕只是时间问题了!
“赵部长,你这是做什么?”江清月看到一行人挤进了实验室里,皱着眉头问道。
“小江啊,快来我给你介绍一下!”赵大健呵呵笑着,摆了摆手说道:“这是日本东芝来咱们泛翰研究院的考察团,给国际友人们汇报一下咱们的研究进度。说不定还能给你的项目指点一二呢。”
江清月疑惑的看了赵大健一眼,她在泛翰研究院只是比较基层的研究员,级别是比不上赵大健的。但赵大健负责的是运营部,本身又管不到技术部的事情。她抬头向外面看去,却见到笑扉扉站在门外微微的点了点头,这才放下了心来。
“我们的试验正在测试高密度石英材料制作的镜头,在经过多次反射折射之后。进行色差补偿的方案……”
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