第二百九十四章 截胡(2/4)
“色差补偿!”城三太郎微微一愣,脸上的表情就有些僵硬了。如果说之前他还只是怀疑,那么听到江清月的研究内容,就几乎是坐实了泛翰集团在0.35微米工艺的技术上,肯定是取得了不小的突破。色差补偿是光刻机研究领域,非常重要的内容。通过使色差最小化。能够抑制由激光带宽变动所引起的光学邻近效应。比如局部光斑、入射角和热象差、偏振状态控制能力的保持。
这些技术难题,直接决定了反射镜的数量与类型。这些镜头设计的细节,每一点改进都意味着距离成功更近了一步。
“我能看看你们的实验记录吗?”城三太郎还是非常谨慎的提出了他的要求,中国人或许可以摆一个花架子来骗他,但绝对没有办法编出一套正确的实验结果来。如果这种实验记录都能编出来。那更说明他们掌握了这项技术……
“小江,还不快把你们的实验记录拿出来。给城三太郎先生看看?”赵大健说着,还回过身来致歉道:“城三先生是东芝方面的光刻技术专家,您稍微指点两句,肯定会让我们获益良多。”
“哪里,我想以中国人的智慧,一定可以取得让我刮目相看的成绩。”城三太郎见江清月取来了实验记录,也就不在意多客气两句了。在日本越是受教育程度高的人,对汉语阅读就越流利,倒是不用担心他会看不懂实验记录。
城三太郎打开实验记录,粗粗的扫了两眼,不由得就是暗自心惊。各种光波在不同材质之中穿行,产生的变化都不相同。193nm的准分子激光,想要应用在光刻机上,就必须对镜头进行全新设计。在此之前就必须详细的试验新材料,全面的了解镜头对激光产生的所有影响。
从实验记录的结果上面来看,显然泛翰集团已经对高密度石英,进行了全面的激光测试。测试进度至少已经达到了80%的水平,要知道当全部测试完成之后,接下来要进行的就是镜片设计工作了。进入这个阶段,基本就可以看做是0.35微米工艺光刻机技术开发,进入到最后的步奏了。
“赵桑,这些数据都是你们自己的镜头,测试出来的结果吗?”城三太郎颇为焦急的问道,他这样的问题可以说是非常的不礼貌,但这个时候已经没有心情去计较这种小事了。
能够测试出完全正确的镜头数据,这说明中国人已经掌握了0.35微米光刻机所需的镜头加工技术。这对尼康来说,简直就像是在乡下小河沟里,突然钓出来一条大白鲨一样。
当今国际上,如果把芯片生产技术分成三个档
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